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隨著現(xiàn)代微電子技術的發(fā)展，具有優(yōu)越性能的薄膜材料，在航空、、生物等領域日益發(fā)揮重要作用，并得以廣泛運用。對于這些薄膜材料的機械性能檢測，由于傳統(tǒng)壓痕技術產(chǎn)生的壓痕尺寸大 ，不能準確檢測微小尺寸材料的機械性能。近幾年發(fā)展起來的納米壓痕技術，測試精度達到納米級，滿足了科研者檢測薄膜材料機械性能的需要。
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